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MEMS乙醇?xì)怏w傳感器

MEMS乙醇?xì)怏w傳感器是一款采用在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料,并可檢測(cè)空氣中乙醇?xì)怏w濃度的氣體檢測(cè)儀器。MEMS乙醇?xì)怏w傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,對(duì)乙醇?xì)怏w的靈敏度高,殼體堅(jiān)固,抗震性好,使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與乙醇?xì)怏w濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。該乙醇傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)時(shí)間短等特點(diǎn),表面體積比高可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/p>

產(chǎn)品介紹:

MEMS乙醇?xì)怏w傳感器是一款采用在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料,并可檢測(cè)空氣中乙醇?xì)怏w濃度的氣體檢測(cè)儀器。MEMS乙醇?xì)怏w傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,對(duì)乙醇?xì)怏w的靈敏度高,殼體堅(jiān)固,抗震性好,使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與乙醇?xì)怏w濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。該乙醇傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)時(shí)間短等特點(diǎn),表面體積比高可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/p>

產(chǎn)品參數(shù):

檢測(cè)氣體:乙醇

乙醇檢測(cè)范圍:0-500ppm

回路電壓Vc:≤24V DC

加熱電壓VH:2.5V土0.1V AVorDC

負(fù)載電阻RL:可調(diào)

加熱電阻RH:800+200 (室溫)

加熱功耗PH:≤80mW

敏感體電阻Rs:1KQ~30KQ

靈敏度S:RO/RS≥2

濃度斜率a:≤0.9

溫度:20°C士2°C

濕度:55%RH士5%RH

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電路:VH:2. 8V士0.1V VC:5.0V士0.1V

圖片關(guān)鍵詞

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標(biāo)簽: 乙醇傳感器
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